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一、激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。二、激光具有高強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個...
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三坐標(biāo)測量機(jī)測量精度高、效率高，廣泛應(yīng)用在精密加工檢測領(lǐng)域。它與數(shù)控機(jī)床是保證工件測量與加工精度的關(guān)鍵設(shè)備。其中作為高精度的測量基準(zhǔn)，幾何誤差的快速、高精度檢測技術(shù)都是三坐標(biāo)測量機(jī)性能提升的關(guān)鍵。三坐標(biāo)測量機(jī)運(yùn)行速度的加快，動態(tài)誤差往往會比...
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白光干涉儀能測什么？有著“納米眼”之稱的白光干涉儀，是一款在縱向分辨率上可實現(xiàn)0.1nm的分辨率和測量可靠性的光學(xué)測量儀器。下面就讓我們一起來領(lǐng)略下國產(chǎn)白光干涉儀鏡頭下的3D顯微之美。SuperViewW1白光干涉儀白光干涉儀采用的光學(xué)輪廓...
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激光跟蹤儀是一種空間大尺寸三維坐標(biāo)精密測量的先進(jìn)幾何量儀器，不僅可以對靜止的空間目標(biāo)進(jìn)行高精度三維測量，還可以對運(yùn)動的目標(biāo)進(jìn)行跟蹤測量，是大尺寸精密測量的主要手段。系統(tǒng)由PC、控制主機(jī)、跟蹤站、目標(biāo)鏡等組成。激光跟蹤儀集合了精密機(jī)械技術(shù)、計...
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3d輪廓掃描儀是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的測量儀器，采用進(jìn)口高精度光柵測量系統(tǒng)建立工件表面輪廓的二維坐標(biāo)，計算機(jī)通過修正算法對光柵數(shù)據(jù)進(jìn)行修正，終還原出工件輪廓信息、粗糙度信息并以曲線圖顯示出來，通過軟件提供的分析工具可對輪廓、粗糙度進(jìn)...
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工程機(jī)械作為工程建設(shè)中的重要工具，施工過程中長期承受各種外力，因此對各結(jié)構(gòu)件質(zhì)量要求很高，檢測十分嚴(yán)格，通常要求的公差在0.1mm～0.2mm以內(nèi)。工程機(jī)械部件外形尺寸及重量通常較大，常規(guī)儀器無法有效滿足檢測需求，GTS激光跟蹤儀作為大尺寸...
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近年來，面對持續(xù)高漲的芯片需求，半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)迎來了高難度挑戰(zhàn)——對芯片工藝要求更精細(xì)，從5nm到3nm，甚至是2nm。“先進(jìn)封裝”的提出，是對技術(shù)的新要求，也是對封裝工藝中材料和設(shè)備的全新考驗。芯片身上布控著幾千萬根晶體管，而晶體管越小，...
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目前，在幾何量測量中最重要的激光技術(shù)是用廣電轉(zhuǎn)換條紋計數(shù)等方法來測量長度，這種方法具有精度高、速度快、量程大、始于非接觸測量及自動測量等優(yōu)點。基于激光干涉儀技術(shù)的精密角度測量系統(tǒng)，通過角度轉(zhuǎn)換裝置將角度量轉(zhuǎn)換為可以反映干涉光路中光程差變化的...
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