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WD4000無圖晶圓粗糙度測量系統(tǒng)提供幾何輪廓分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。其中粗糙度分析包括國際標準ISO4287 的線粗糙度、ISO25178 面粗糙度、ISO12781 平整度等全參數(shù)。

WD4000半導體晶圓表面幾何形貌檢測系統(tǒng)通過非接觸測量，將晶圓的三維形貌進行重建，強大的測量分析軟件穩(wěn)定計算晶圓厚度，TTV，BOW、WARP、在高效測量測同時有效防止晶圓產(chǎn)生劃痕缺陷。

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