SJ6000納米精度位移激光干涉測量儀采用高速干涉信號采集、調理及細分技術,可實現(xiàn)高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率。具有實時性測量能力,能夠同時測量多個位置或參數(shù),提高測量效率。
中圖儀器單頻激光干涉儀SJ6000集光、機、電、計算機等技術于一體,結合不同的光學鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
SJ6000機床性能激光干涉檢測儀利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點,可以用于測量機床各個部件之間的相對位置和尺寸關系,從而檢測和糾正機床的裝配誤差。此外,激光干涉儀還可以用于檢測機床在運行過程中的變形和振動情況,及時發(fā)現(xiàn)機床的故障和異常狀態(tài),保證機床的穩(wěn)定性和可靠性。
SJ6000激光干涉精密測量校準系統(tǒng)具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點,結合不同的光學鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
SJ6000機床傾斜軸線性角度激光干涉測量儀非接觸式、高精度的特點使其適用于各種復雜的運動系統(tǒng),不僅僅局限于運動導軌,還可以檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。
SJ6000運動導軌高精度激光干涉檢測儀集光、機、電、計算機等技術于一體,結合不同的光學鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
SJ6000工業(yè)精密激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體,具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點,結合不同的光學鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
SJ6000激光干涉儀精密測量及校準系統(tǒng)可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。
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