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中圖儀器的平面光學(xué)激光干涉儀產(chǎn)品在測(cè)量精度、測(cè)量速度、測(cè)量類型等方面選擇上，給用戶提供了更多選擇。

中圖儀器金屬平面激光干涉儀品牌可用于精密機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度的測(cè)量，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。

?SJ6000便攜式激光干涉儀通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測(cè)量。具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。

GTS國產(chǎn)激光跟蹤儀將干涉測(cè)長(zhǎng)的及時(shí)修正速度與絕對(duì)測(cè)距功能相結(jié)合，保證測(cè)量精度，并實(shí)現(xiàn)擋光恢復(fù)。在斷光時(shí)會(huì)在小范圍內(nèi)自動(dòng)搜索到目標(biāo)球，完成斷光續(xù)接，自動(dòng)鎖定目標(biāo)球，全過程不需人為操作，提高測(cè)量效率。

SJ6800激光干涉儀國產(chǎn)品牌測(cè)量分辨率0.01″，系統(tǒng)測(cè)量精度為±1″，基準(zhǔn)WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)精度為0.2″。主要特點(diǎn)是小巧便攜、功能強(qiáng)、無線操作。具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、*高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。

GTS激光跟蹤檢測(cè)儀具有高精度、高效率、實(shí)時(shí)跟蹤測(cè)量、安裝快捷、操作簡(jiǎn)便等特點(diǎn)，適合于大尺寸工件配裝測(cè)量。簡(jiǎn)單的說，激光跟蹤測(cè)量系統(tǒng)的所要解決的問題是靜態(tài)或動(dòng)態(tài)地跟蹤一個(gè)在空間中運(yùn)動(dòng)的點(diǎn)，同時(shí)確定目標(biāo)點(diǎn)的空間坐標(biāo)。不僅可以對(duì)靜止的空間目標(biāo)進(jìn)行高精度三維測(cè)量，還可以對(duì)運(yùn)動(dòng)的目標(biāo)進(jìn)行跟蹤測(cè)量，是大尺寸精密測(cè)量的主要手段。

以激光干涉技術(shù)為核心，SJ6000激光干涉儀機(jī)床精度測(cè)試的分辨率可達(dá)納米級(jí)。有測(cè)量機(jī)床回轉(zhuǎn)軸精度、直線度、線性、運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、定位精度、垂直度等檢測(cè)功能，且可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，滿足機(jī)床誤差修正的要求。

中圖儀器的國產(chǎn)sj6000激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)平行度、線性測(cè)長(zhǎng)、直線度、垂直度、角度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，還可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。