自設(shè)計之初,VT6000系列3d激光共聚焦形貌顯微鏡便定下了“簡單好用”四字方針的目標。設(shè)備具備一體化操作的測量與分析軟件,預先設(shè)置好配置參數(shù)再進行測量,軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導出功能,即可快速實現(xiàn)批量測量功能.
SuperViewW1白光干涉表面形貌儀用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量,可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。
臺階儀是一種接觸式表面形貌測量儀器,可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。中圖儀器NS系列臺階儀接觸式表面形貌測量儀廣泛應用于:大學、研究實驗室和研究所、半導體和化合物半導體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域。
SuperViewW1國產(chǎn)三維白光干涉儀以白光干涉技術(shù)原理,結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對各種精密器件表面進行納米級測量,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。
SuperViewW1國產(chǎn)白光干涉顯微鏡以白光干涉技術(shù)為原理,結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。
VT6000激光共聚焦顯微成像儀配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像,對細節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn)。儀器整體結(jié)構(gòu)簡單,由一臺輕量化的設(shè)備主機和電腦構(gòu)成,控制單元集成在設(shè)備主機之內(nèi),亦可采用筆記本電腦驅(qū)動,實現(xiàn)了“拎著走”的便攜式設(shè)計。
中圖臺階儀應用場景適應性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,能夠廣泛應用于半導體、太陽能光伏、光學加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位,其對表面微觀形貌參數(shù)的準確表征,對于相關(guān)材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。
在材料生產(chǎn)檢測領(lǐng)域中,VT6000轉(zhuǎn)盤共聚焦高分辨率顯微鏡結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描,可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
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