VT6000共聚焦微觀形貌分析測量顯微鏡一般用于材料生產(chǎn)檢測領域略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測,可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。主要應用于半導體、光學膜材、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中,其次是對表面粗糙度、面積、體積等參數(shù)的檢測中。
NS系列納米級表面測量臺階儀是一種接觸式表面形貌測量儀器,可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。
VT6000材料檢測共聚焦顯微鏡3D成像一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測,可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。
SuperViewW白光干涉非接觸式輪廓儀是利用光學干涉原理研制開發(fā)的超精細表面輪廓測量儀器。它以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。
Nano Step系列晶圓探針式輪廓儀臺階儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。
SuperViewW納米白光干涉儀微尺寸檢測儀基于白光干涉原理,結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括表面形貌和幾何特征。
VT6000材料檢測3D成像共聚焦顯微鏡基于光學共軛共焦原理,用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量,可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。
SuperViewW白光干涉輪廓形貌粗糙度測量儀復合型EPSI重建算法,解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下,只需要確定起點和終點,即可自動掃描,重建其超光滑的表面區(qū)域,不見一絲重疊縫隙。
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